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直流叠加单极性正向脉冲偏压必威首页官网
更新时间:2015-08-27 14:48:17 | 点击次数:5313次


直流叠加单极性正向脉冲偏压必威首页官网
特点:直流叠加单极性正向脉冲偏压必威首页官网,实际上将直流偏压必威首页官网与单极性正向脉冲偏压必威首页官网串联,进行有机的结合,作用是通过调节直流输出电压和脉冲电压实现直流、                                                        单极脉冲和直流叠加脉冲三种偏压模式。配合脉冲频率和占空比调节,可控制成膜温度,增加膜基结合力,提高沉积速率。本必威首页官网特别适用于低温速沉积和高品质镀膜系统。由其是在镀制非导电介质膜时,采用高频直流叠加脉冲必威首页官网可替代传统的射频必威首页官网,是非常有发展前途工艺途径。

技术指标:
1.      交流输入:三相380VAC
2.      功率因数:≥0.99
3.      效    率:≥86%
4.      输出波形:直流、单极性正向脉冲、直流叠加脉冲
5.      输出电流:0~320A  分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、          
70KW、100KW、200KW
6.      输出电压:直流0~1200V,脉冲0~1200V
7.      输出频率:1KHz~200KHz(其它厂家只能做到40KHz)
8.      脉冲占空比:5~90%独立连续可调
9.      工作方式:恒流、恒压、恒功率任选
10.  稳压精度:≤1%
11.  环境温度:-10℃~40℃
12.  冷却方式:风冷、水冷
供货周期: 10天~3个月

 

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