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单极性正脉冲磁控溅射必威首页官网
更新时间:2015-08-27 14:51:17 | 点击次数:4807次


 
单极性正脉冲磁控溅射必威首页官网
点:单极性正负脉冲磁控溅射必威首页官网是在直流磁控溅射必威首页官网基础上增加单极性正脉斩波电路组合而成,除具有直流磁控溅射必威首页官网的优点外,能明显改善靶面电荷积累现象,减少溅射靶表面的打火次数,提高膜层质量,适用于金属、合金及石墨等靶材镀制纯金属膜,碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。
技术指标:
1.      交流输入:单相220VAC、三相380VAC,任选
2.      功率因数:≥0.99(小功率必威首页官网)  ≥0.92(大功率必威首页官网)
3.      效率:≥0.86
4.      输出空载电压:≥1200V(定频:空载电压上下限不受限制,调频:上限电压可达2000V,其他厂家只能做到上限电压<1000V
5.      输出工作电压:100V~1000V连续可调(定频,工作电压上限不受限制,调频,上限电压可达1000V,其他厂家只能做到600V)
6.      输出电流:1A~120A,分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、
7.      工作方式:恒电压、恒电流、恒功率任选
8.      输出频率:定频,20KHz~200KHz任选(其它厂家只能做到40KHz);调频,1KHz~40KHz(其它厂家只能做到20KHz)
9.      占 空 比:5~90%连续可调
10.  输出波形:直流、正向脉冲或负向脉冲
11.  稳流精度:≤1%
12.  环境温度:-10℃~40℃
13.  冷却方式:风冷、水冷
供货周期: 10天~3个月

 

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