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对称式双极正负脉冲磁控溅射必威首页官网
更新时间:2015-08-27 14:53:09 | 点击次数:5589次


对称式双极正负脉冲磁控溅射必威首页官网
特点:对称式双极正负脉冲磁控溅射必威首页官网是我公司积加速器磁铁双向脉冲必威首页官网研究经验,于近年开发、研究的创新产品,双极正负脉冲输出,频率、正负脉冲占空比、可定频、可连续调节。适用于中频孪生靶磁溅射金属和非金属材料,特别适合于反应磁控溅射镀制ITO膜、介质膜、绝缘保护膜等。本必威首页官网能增加离化率,减少电荷积累引起的异常放电,预防靶表面中毒现象。
技术指标:
1.      交流输入:单相220VAC、三相380VAC
2.      功率因数:≥0.99(小功率必威首页官网)  ≥0.92(大功率必威首页官网)
3.      效率:≥0.86
4.      输出空载电压:定频,输出正负脉冲空载电压±200V~±2000V;调频,±100V~±1000V(其它厂家只能达到±600V)
5.      输出工作电压:定频,±100V~±2000V;调频,±50V~±1000V(其它厂家只能达到±600V)输出电流:1A~120A,分10种规格:1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW
6.      工作方式:恒电压、恒电流、恒功率任选
7.      运行模式:二象限、四象限
8.      输出频率:定频20KHz~200KHz,调频1KHz~40KHz(其它厂家上限频率只能达到20KHz)
9.      占 空 比:10~90%
10.  输出波形:双极正负脉冲
11.  稳流精度:≤1%
12.  环境温度:-10℃~40℃
13.  冷却方式:风冷、水冷
供货周期: 10天~3个月

 

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